1、原水：可用自來水或普通蒸餾水或普通去離子水作原水。

2、機械過濾：通過砂芯濾板和纖維柱濾除機械雜質，如鐵銹和其他懸浮物等。

3、活性炭過濾：活性炭是廣譜吸附劑，可吸附氣體成分，如水中的余氯，吸附細菌和某些過渡金屬等。氯氣能損害反滲透膜，因此應力求除盡。

4、反滲透膜過濾：可濾除95%以上的電解質和大分子化合物，包括膠體微粒和病毒等。由于絕大多數離子的去除，使離子交換柱的使用壽命大大延長。

5、紫外線消解：借助于短波(180nm-254nm)紫外線照射分解水中的不易被活性炭吸附的小有機化合物，如甲醇、乙醇等，使其轉變成CO2和水，以降低TOC的指標。

6、離子交換單元：已知混合離子交換床是除去水中離子的決定性手段。借助于多混床獲得超純水也并不困難。但水的TOC指標主要來自樹脂床。因此，高質量的離子交樹脂就成為成敗的關鍵。所謂高質量的樹脂，就是化學穩(wěn)定性特別好，不分解、不含低物、單體和添加劑等的樹脂。

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