超純水設備在電子行業(yè)中的應用介紹

電子行業(yè)選擇超純水設備是因為超純水被用在電子工業(yè)主要是線路板、電子元器件生產中,超純水水質已成為影響線路板、電子元器件產品質量、生產成品率及生產成本的重要因素之一,水質要求也越來越高。在電子元器件生產中,超純水主要用作清洗用水及用來配制各種溶液、漿料,不同的電子元器件生產中純水的用途及對水質的要求也不同。

在晶體管、集成電路生產中,超純水主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制,硅片氧化的水汽源,部分設備的冷卻水,配制電鍍液等。集成電路生產過程中的80%的工序需要使用高純水清洗硅片,水質的好壞與集成電路的產品質量及生產成品率關系很大。

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