超純水制備的一次純水處理系統(tǒng)中，往往要使用反滲透裝置(RO)，且反滲透膜多以聚酰胺復(fù)合膜為主，這類膜不足之處在于：抗氧化性差，氧化性物質(zhì)能導(dǎo)致膜聚合物分解，而活性炭恰恰對(duì)水中余氯、過氧水等氧化性物質(zhì)有良好的去除效果。因此，在超大規(guī)模集成電路超純水制備的預(yù)處理系統(tǒng)中采用活性炭處理單元是十分必要的。一次純水處理系統(tǒng)的目的是對(duì)預(yù)處理系統(tǒng)的出水進(jìn)一步進(jìn)行處理，代表性的裝置有反滲透、混合離子交換、一級(jí)膜脫氣、EDI(電再生脫鹽)、UV(紫外線)、一級(jí)拋光等。其中，反滲透、UV進(jìn)一步去除一次純水處理系統(tǒng)遺留下來的TOC?；旌想x子交換既可去除一次純水處理系統(tǒng)遺留下來的TOC，也可去除SiO2，利用膜脫氣對(duì)預(yù)處理水中的溶解氧進(jìn)行處理，一級(jí)拋光采用高純樹脂，用來處理金屬離子。

超純水系統(tǒng)是為了去除一次純水處理系統(tǒng)中殘留的微量雜質(zhì)而設(shè)置的，值得注意的是，超純水系統(tǒng)在去除水中各種雜質(zhì)的同時(shí)，如何去除設(shè)備因自身材質(zhì)而引起的污染應(yīng)引起人們的高度關(guān)注。也就是說，一個(gè)完整的超純水系統(tǒng)，不但要有合理的制水流程，而且還要對(duì)每個(gè)處理設(shè)備自身的微量溶出問題進(jìn)行研究。此外，超純水的輸送方法，配管、閥門材質(zhì)的選定也非常重要。

當(dāng)前名稱：集成電路清洗超純水制取方法
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