微電子行業(yè)的生產(chǎn)加工離不開超純水的使用，微電子生產(chǎn)用超純水設(shè)備針對(duì)這一行業(yè)用水需求，采用反滲透和EDI相結(jié)合的制水工藝，有效去除水中的導(dǎo)電離子，電阻率可以達(dá)到18兆歐以上。

微電子生產(chǎn)用超純水設(shè)備工藝流程

1、原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級(jí)反滲透設(shè)備→中間水箱→中間水泵→離子交換器→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→用水點(diǎn)

2、原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→第一級(jí)反滲透→PH調(diào)節(jié)→中間水箱→第二級(jí)反滲透(反滲透膜表面帶正電荷)→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→用水點(diǎn)

3、原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級(jí)反滲透機(jī)→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→用水點(diǎn)

微電子生產(chǎn)用超純水設(shè)備技術(shù)優(yōu)勢(shì)

1、CPUW核心超純水專用膜元件

2、CIP在線清洗消毒系統(tǒng)

3、GMP標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證

4、POD水質(zhì)在線檢測(cè)系統(tǒng)

5、PPH、PVDF潔凈管道設(shè)計(jì)工程師

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